米乐m6易游官方网站:欧姆龙成功案例 温控技能在RTP快速退火炉上的使用完成多路高速同步升温
来源：米乐m6易游官方网站 发布时间：2026-10-08 06:55:21yy易游米乐官网:
欧姆龙成功案例 温控技能在RTP快速退火炉上的使用，完成多路高速同步升温
RTP快速退火炉作为芯片制作环节中的重要工艺之一。RTP使用红外灯管热辐射加热技能，在几秒时间内（20~130℃/秒）完成晶圆的快速升温退火和尖峰退火工艺；经过退火处理，可以使资料得到修正，结晶体内部重新排列，去除缺点和杂质，康复晶格完好，进步电导率。
经过多物理场建模仿真，立异权重系数分配算法，终究完成了150℃/S的高速同步升温且无超谐和温度均一性小于10℃的最优操控作用。
■ 完成多路高速同步升温操控，且超调小于10℃和震动小于10秒，TC-WAAFER多点测温温度均一性小于10℃。
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